单晶硅生产用石英坩埚应具备的要求

石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿，因为其是大规模集成电路的原材料，所以对石英坩埚的要求十分严苛，它的纯度和质量会直接影响单晶硅的产量和质量，主要有以下几方面的要求：
　　1.材质必须是高纯度半导体级，且纯度要高，有害化学小于20x10﹣6；
　　2.耐高温性强，在高温过程中保持高电阻率及防止软化；
　　3.石英坩埚的尺寸大，国外已普遍使用22英寸及36英寸的坩埚；
　　4.气泡要少，气泡在生产中不长大；
　　5.规格精度高，耐温性能好。
　　以上就是石英坩埚在生产单晶硅中需要具备的五点要求。随着相关产业的不断发展，对半导体材料用石英制品及相关材料提出了更高的要求
小编:Dick