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石英坩埚出现渗硅漏硅的原因

  石英坩埚是半导体行业,大规模集成电路不可缺少的基础材料。石英坩埚出现渗硅漏硅现象的原因可能是多方面,可能是在生产,或者说是清洗以及在包装过程出现了问题,小编本次介绍几种
  1.内表面析晶严重,温度变化等导致局部脱落;
  2.透明层中的气泡膨胀破裂;
  漏硅
  3.石英坩埚失透严重;
  4.石英坩埚存在隐伤或运输安放过程中存在碰撞;
  5.装料、化料不当。
  以上就是出现渗硅漏硅的常见原因,相信您看后也有了一定的了解,知道问题形成的原因之后我们可以从根源上解决。石英坩埚凭借自身的优良特点,得到了行业内广泛使用及普遍认可。
小编:Dick